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- 產品xinghao︰
- LWALP-170
產品特征
一、主要特dian 二、單探針（柱xing探針、ping面探針、球xing探針） 三、雙探針 四、kongjian分布測量 五、zhi流補償 liu、射pin補償
朗miao爾探針zhenduan系統是一zhong測試deng離子體參數de關jianzhenduan工具，可yi對deng離子體密度、電子溫度、deng離子體電流密度deng參數進行實時在線jian測。
朗望科jizi主研制de朗miao爾體探針zhenduan系統（yixia簡稱LWALP系統）可yi對主要dedeng離子體參數︰?deng離子體密度、電子溫度、離子電流密度、deng離子體電位、懸浮電位deng，進行實時在線jian測；
朗望科ji創xinde航天電子ji術和真kong條件xiadeWIFI高可靠通訊ji術，保zheng LWALP系統設備可完quan置于真kong環境xia工作，避免liao測量xinhao穿cang帶laide麻煩，dada降低liao設 u賈 e難度，jida提高liao系統de測量zhunque度；
中國航天、中科院、中國電科dengda量deng離子體研究機構研究人員de苛刻測試驗zheng，朗望科ji對ji術、產品精益qiu精de迭dai優化保zhengliaoLWALP系統測量dezhunque性。
LWALP系統可對zhi流、脈沖zhi流、微波和射pindeng離子體進行zhenduan測試。biaozhun探針軸dechang度為300mm，也可根據需qiu延chang至1.5m。嵌入式de探頭固定zhuang置能夠有效防止在探針采集區域由于jian射導電層yin起de增量。簡單適宜de探頭固定設計使得探頭degeng換十分容易。biaozhun探針材料為鎢，也可由鉬、鉑、因瓦合金deng制成。根據用戶要qiu，我men可定制bu同chang度、zhi徑、材料和xing狀de探針，同時分析軟件de升級也十分簡便。
雙探針可針對接地情況bu佳de現場加yi應用，可用于RF/pRF和DC/pDCdeng環境。bing可測得高密度deng離子體。探頭清潔作為biaozhun配置，zi動清潔功能使 en褰 酵 eng加容易，尤其對于沉積deng離子體特別有用。ALP系統de應用軟件可支持zi動清潔和shou動清潔雙重操作。
?使用三維線性驅動系統（三維kongjianX*Y*Z尺寸︰500*500*500mm）能將朗miao爾探針深入daodeng離子體腔室debu同位置中，在探針所達位置，可測得附近deng離子體de關jian參數，繪制出da多數deng離子體性質de清晰圖pian。
yu掃miaomo式可yi排除對zhi流補償電jide需qiu，在探針消耗bu同電流時，能檢測daoIV特征曲線中 iao epiao移。亦可que定deng離子體de對地電阻，同時加yi適當de修zheng。
本系統配置de探針軸由金屬制成，fuyi精良detaoci層，使得探 an eng離子體de耦合zui佳化，可排除對補償電jide需qiu。
產品主要參數
deng離子體參數zhenduanfan圍 |
|
ALP系統kong in? 問 /strong> |
|
懸浮電位(Vf) |
-165V～165V |
iao股 iaofan圍 |
-170V～+170V |
deng離子體電位(Vp) |
-80V～165V |
電流掃miaofan圍 |
15nA～150mA |
deng離子體密度(Ne) |
10^6～3.2x10^13cm^-3 |
通訊方式 |
WiFi，LAN |
離子電流密度(Ni) |
3nA/cm^2～25mA/cm^2 |
采樣su率 |
1.0 MSPS (V,I) |
電子溫度(kTe) |
0.1～10eV |
應用軟件 |
|
| 朗miao爾探針 |
|
操作系統 |
Windows7yi上
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zhi流，脈沖zhi流，微波deng離子體 |
|
運動定位機構
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chang度 |
200mm～1.5m，可定制其他chang度 |
三維行程 | XYZ:500*500*500mm，其他可定制 |
zhi徑 |
0.2mm～10mm |
真kong度 |
漏率≦5*10^-7(Pa*m^3/s) |
